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多晶硅精馏车间培训资料 多晶硅精馏车间培训资料 PAGE / NUMPAGES 多晶硅精馏车间培训资料 多晶硅精馏车间培训资料 多晶硅精馏单元培训资料 培训内容 精馏简介 物料介绍 原理及设施 塔器及工艺流程 操作 安全 1、精馏简介 1.1 精馏技术是现代传质理论在化学、 化工过程工业分别领域中的一 项重点共性技术，宽泛应用于石油炼制、石油化工、化学工业、精美 化学品、化肥工业、空气分别、原子能化工、环境保护、中药现代化 和天然产物分别等产品和工业过程。 在提高产品的纯度和利润率、 降 低生产过程的能耗和控制环境污染方面拥有重要作用。 对明显提高传 统化工装置技术水平、推进行业科技进步拥有重要意义。 1.2 精馏单元简介 多晶硅生产的工艺过程： 多晶硅生产的工艺过程简单归纳为： 三个化学反响，一系列的分 馏提纯，使冶金硅成为高纯度多晶硅的除杂过程。 在半导体硅的生产中，三氯氢硅或四氯化硅提纯是一个重点工 序。TCS合成工序产品有 SiHCl3（TCS），SiCl4（STC），SiH2Cl2（DCS）， CH3SiHCl2（MDCS）， BCl3 ，PCl3，PCl5，AlCl3 ，FeCl2，此中的杂 质（如硼），在物理提纯过程中很难除掉，关于其余杂质，物理提纯 也要耗资更多的时间和花费方能除掉。此中有：精馏、萃取、固体吸附、部分水解、络合等。但在工业生产中，当前应用最为宽泛的