激光在精密测量中的应用.docVIP

- .. PAGE - -可修编. 第六章 激光在精细测量中的应用 激光由于有优异的单色性、方向性和高亮度，使它在多方面得到应用。例如，激光在加工工业中被用来完成打孔、焊接、切割、快速成型，在医学中制造了激光手术刀、激光近视眼治疗仪、激光辐照仪，在IT产业量用来做光通讯、光存储、光信息处理的光源，在近代的科学研究中用于受控核聚变、光谱分析、操纵原子、诱导化学反响、乃至探索宇宙的起源，但是其最早期的应用还是在计量领域。尤其因为它可以与自然基准——光的波长直接相联系，实现高精度测量，在长度测量领域得到了大量的应用。以下本书将要对激光在各方面的应用进展讨论，本章首先介绍激光在精细测量中的应用。 激光的高度相干性使它一经创造就成为替代氪86作为绝对光波干预仪的首选光源，经过四十年的开展，激光干预计量已经走出实验室，成为可以在生产车间使用的测量检定标准，激光衍射测量也成为许多在线控制系统的长度传感器。激光的良好方向性和极高的亮度不仅为人们提供了一条可见的基准直线，而且为长距离的光电测距提供了可能。激光同时具有高亮度和高相干性使得光的多普勒效应能够在测速方面得到应用。激光雷达那么综合应用了激光的各方面的优点，成为环境监测的有力武器。 6.1激光干预测长 干预测量技术是以光的干预现象为根底进展测量的一门技术。在激光出现以后，加之电子技术和计算机技术的开展，隔振与减振条件的改善，干预技术得到了长足进展。干预测量技术大多数是非接触测量，具有很高的测量灵敏度和精度，而且应用围十分广泛。常用的干预仪有迈克尔逊干预仪、马赫—曾德干预仪、菲索干预仪、泰曼—格林干预仪[22-24]等；70年代以后，具有良好抗环境干扰能力的外差干预仪，如双频激光干预仪[25-27]、光纤干预仪也很快的开展了起来。激光干预仪越来越实用，其性能越来越稳定，构造也越来越紧凑。 干预测长的根本原理 激光干预测长的根本光路是一个迈克尔逊干预仪〔如图6-1示〕,用干预条纹来反映被测量的信息。干预条纹是接收面上两路光程差一样的点连成的轨迹。激光器发出的激光束到达半透半反射镜P后被分成两束，当两束光的光程相差激光半波长的偶数倍时，它们相互加强形成亮条纹；当两束光的光程相差半波长的奇数倍时，它们相互抵消形成暗条纹。两束光的光程差可以表示为 (6-1) P光束1单模稳频He-Ne激光器光电计数器显示记录装置待测物体激光束光束2光电显微镜迈克尔逊干预仪M1M2 P 光束1 单模稳频He-Ne激光器 光电计数器 显示记录装置 待测物体 激光束 光束2 光电显微镜 迈克尔逊干预仪 M1 M2 可移动平台 图6-1 激光干预测长仪的原理图 被测长度与干预条纹变化的次数和干预仪所用光源波长之间的关系是 〔6-2〕 式〔6-2〕是激光干预测长的根本测量方程。 从测量方程出发可以对激光干预测长系统进展根本误差分析 〔6-3〕 式中分别为被测长度、干预条纹变化计数和波长的相对误差。这说明被测长度的相对误差由两局部组成，一局部是干预条纹计数的相对误差，另一局部是波长也就是频率的相对误差。前者是干预测长系统的设计问题，不是本书研究的容。后者除了与前面讲过的激光稳频技术有关之外还与环境控制，即对温度、湿度、气压等的控制有关。因此激光干预测长系统测量误差必须根据具体情况进展具体分析。 激光干预测长系统的组成 除了迈克尔逊干预仪以外，激光干预测长系统还包括激光光源，可移动平台，光电显微镜，光电计数器和显示记录装置。激光光源一般是采用单模的He-Ne气体激光器，输出的是波长为632.8纳米的红光。因为氦氖激光器输出激光的频率和功率稳定性高，它以连续鼓励的方式运转，在可见光和红外光区域里可产生多种波长的激光谱线，所以氦氖激光器特别适合用作相干光源。为提高光源的单色性，对激光器要采取稳频措施。可移动平台携带着迈克尔逊干预仪的一块反射镜和待测物体一起沿入射光方向平移，由于它的平移，使干预仪中的干预条纹移动。光电显微镜的作用是对准待测物体，分别给出起始信号和终止信号，其瞄准精度对测量系统的总体精度有很大影响。光电计数器那么对干预条纹的移动进展计数。显示和记录装置是测量结果的输出设备，显示和记录光电计数器中记下的干预条纹移动的个数及与之对应的长度，可以用专用计算机或也可以用通用的PC机替代。 迈克尔逊干预仪是激光干预测长系统的核心局部，其分光器件