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基于微结构的柔性压力传感器设计、制备及性能研究进展 在自然界和人们的基本行动中，压力被定义为两个接触物体表面的作用力。压力的产生与地球的重力和物体间的接触息息相关。在人体内部，正常的生理活动也会产生各种压力，比如血压、心跳、脉搏等应用于人体运动和健康监测的压力传感器作为一种重要的人体压力信号采集器件，不仅要求具备高灵敏度和宽感测范围，还应具备良好的柔韧性、皮肤贴合度和耐用性。然而，传统的压力传感器大多是由金属或半导体材料构成，其应变感测范围窄，且灵敏度有限灵敏度、响应时间和可重复性是压力传感器的基本性能参数，决定传感器的测量精度、工作效率、可靠性和使用寿命。大量研究结果表明，微结构的构筑对于柔性压力传感器性能的影响主要体现在以下三个方面：(1) 由于微结构具有在微小压力下易变形的特点，通过在柔性压力传感器的柔性基底或介电层上构建微结构，可使活性层的接触面积在压力作用下显著增加，从而产生较大的电阻或电容变化率，有效地提高传感器的灵敏度；(2) 采用微结构能快速地恢复传感器的弹性形变，缩短其响应时间；(3) 采用微结构也能有效地提升传感器的可重复性、耐久性等传感特性。在这篇综述中，我们总结了近年来基于不同微结构和多孔导电材料的柔性压力传感器的研究进展，根据微结构形貌的不同，我们将其分为金字塔形、微柱形、微球形、仿生结构、褶皱结构以及其他微结构，主要介绍了采用不同微结构对柔性压力传感器性能的影响。最后，我们讨论了柔性压力传感器面临的挑战，并对其今后的发展进行了展望。1 柔性压力传感器的基本原理根据传感器原理和响应特性的不同，柔性压力传感器可以分为压阻式1.1压阻式压力传感器 压阻式压力传感器的工作原理是将物体受到的外界压力的变化转换为电阻的变化进行检测(图2(a))。其中由外力(F)引起的材料间接触电阻的变化是电信号变化的主要来源。与传统的压阻式压力传感器相比，压阻式柔性压力传感器的研究通常集中在柔性材料的选择上，以获得既具有柔韧性又具有压力感测功能的可穿戴压力传感器。由于其结构简单、测试简单、制备成本低和灵敏度高等优势，压阻式柔性压力传感器已被广泛研究。1.2电容式压力传感器电容式压力传感器是另外一种研究较多的压力传感器。它的工作原理主要是将外界压力变化转换为电容的变化进行检测(图2(b))。与其他工作原理的压力传感器相比，电容式压力传感器提供更快的响应时间和较低的功耗。平行板电容器电容的计算公式是：C=εA/d。因此电容C通常跟介电常数ε和两极板正对面积A成正比，跟两极板间距d成反比。因此，当外界施加压力时，两极板间距d变小，导致电容器的电容升高，从而实现对压力的有效检测。1.3压电式压力传感器压电式是压力传感器另外一种常用的转导方法。它的工作原理一般是基于材料本身具有的压电效应(图2(c))。当晶体受到某方向外力的作用时，材料内部就产生电极化现象，同时产生符合相反的电荷；当外力撤去后，晶体又恢复到不带电状态；当外力作用方向改变时，电荷的极性也随之改变。由于其高灵敏度和快速响应时间，压电式压力传感器也广泛用于检测动态压力。其中压阻式和电容式柔性压力传感器因其结构简单、响应时间快、灵敏度高等特性，成为近年来的研究热点。表1总结了三种柔性压力传感器的优缺点。2 柔性压力传感器材料的选择柔性压力传感器工作原理是将外部施加的压力变化转换成电信号的变化。与传统压力传感器相比，柔性压力传感器既需要良好的柔韧性又需要灵敏的压力感应功能2.1 柔性基底材料柔性基底是柔性压力传感器不可或缺的一部分，为了满足柔性传感器的要求，柔韧性和耐腐蚀性、稳定性、轻薄等性质成为了柔性基底选择的关键指标。热塑性聚氨酯(TPU)TPU一般情况下是用异氰酸酯和多元醇通过加聚反应制得的，可以增塑并溶解在许多溶剂中。TPU具有出色的特性，例如硬度范围宽、耐磨、透明、耐油、弹性好等。其硬度主要是通过改变TPU各反应组分的配比来控制，随着硬度的增加，所制成的产品仍可以保持优良的弹性和耐磨性。因此，许多研究人员已考虑制备基于TPU的柔性压力传感器以实现更好的传感性能。橡胶也是一种弹性非常好的聚合物，在很小的外力作用下能产生较大的形变，并且在外力去除后可以恢复原状。橡胶分为天然橡胶和合成橡胶二种。天然橡胶由橡胶树采集胶乳制成，是异戊二烯的聚合物，具有优良的耐磨性、耐酸碱性、很高的弹性及伸长率等优点。PDMS作为一种无色、透明的弹性聚合物，不仅价格便宜、加工简单，而且还具有良好的柔韧性、可拉伸性、优良的生物相容性、耐腐蚀性、光学透过性和稳定性，除此之外，它还具有很好的耐热性、耐寒性，可在-50℃~200℃下长期使用。所以PDMS被认为是可拉伸基材的最佳选择。Ecoflex是己二酸丁二醇酯和苯二甲酸