第1章真空技术基础.pptxVIP

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2021-10-01 发布于北京
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第1章真空技术基础.pptx

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概念：利用外力将一定密闭空间内的气体分子移走，使该空间内的气压小于 1 个大气压，则该空间内的气体的物理状态就被称为真空。一种低压的、稀薄的气体状态，现代真空技术的极限：每 cm3空间内仅有数百个气体分子 ?对应气压 ? 10-12 Pa;气体分子的速度分布;例1，求0℃，P = 1.3 ? 10-4Pa氧气， 1）气体分子密度；2) 分子平均速度；3）平均自由程；4）碰撞次数（已知0℃氧气分子直径3.6 ? 10-8 cm，单分子层分子数8.7 ? 1014 个/ cm2）; 旋转式机械真空泵油扩散泵复合分子泵分子筛吸附泵钛升华泵溅射离子泵低温泵;;;（1）真空测量技术-热偶规或皮拉尼规 P6;（2）真空测量技术—电离真空规