半导体生产线的监控方法及系统.docxVIP

（19 ）中华人民共和国国家知识产权局 （12 ）发明专利申请 （10）申请公布号CN101196732A （43）申请公布日 2008.06.11 （21 ）申请号 CN200610119133.6 （22 ）申请日 2006.12.05 （71 ）申请人 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司地址 201203 上海市浦东新区张江路 18 号 （72 ）发明人 伊德尔;洪启德;陈泰祥 （74 ）专利代理机构 北京集佳知识产权代理有限公司代理人 逯长明 （51 ）Int.CI G05B19/04; G05B19/048; H01L21/00; 权利要求说明书 说明书 幅图 （54 ）发明名称 半导体生产线的监控方法及系统 （57 ）摘要 一种半导体生产线的监控方法，包括：获取生产线中各个半导体设备的状态信息；建立所述各个半导体设备的状态信息和其相应的信息标识的链接；通过对所述信息标识的识别获得所述各个半导体设备的状态信息；本发明还提供一种半导体生产线得监控系统，包括：数据获取装