1硅片检验规程.pdfVIP

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文件编号 版 次 硅片检验规程 生效日期 1 目的 为了加强成品质量控制,规范成品检验方法及步骤,特制定此规程。 2 范围 本文件规定了对成品进行检验的标准等。 本文件适用于硅片公司品管部硅片分选包装检验员。 3 设备、工模具、材料 Manz硅片分选设备、 PVC手套、标签打印机、工作台、包装盒、包装箱、封口胶带等。 4 内容 4.1 检验方式 4.1.1 外观 全检,即对全部生产的硅片外观逐件用肉眼进行检测,从而判断每一件产品是否合格。 4.1.2 电学及其他性能 抽检(加严时须全检) ,每个硅块抽取 200 片用 Manz 硅片分选设备对其导电类型、电阻率、厚度、 TTV、少子寿 命等进行检验。 4.2 检验步骤 a) 每个硅块抽取 200 片用 Manz硅片分选设备对其导电类型、电阻率、少子寿命等进行检验; b) 在抽检的 200 片当中如果有 30 及 30 片以上的硅片(导电类型、电阻率、厚度、 TTV、少子寿命等不符合要求 硅片数的总计)不满足 4.3 中相关要求,则对该硅块所有的硅片用 Manz 硅片分选设备进行检验,之后再对所 有硅片进行外观上的检验; c) 在抽检的 200 片当中如果只有 30 片以下的硅片(导电类型、电阻率、厚度、 TTV、少子寿命等不符合要求硅片 数的总计)不满足 4.3 中相关要求,则将这些硅片判定为导电类型不符、电阻率不符等,该硅块其他硅片不再 进行导电类型、电阻率、厚度、 TTV、少子寿命等的检验,连同抽检的 200 片硅片中剩下的硅片进行外观上的 全检; 例如:如某一硅块理论切片数为 535 片,抽检了 200 片,当中有 29 片不满足 4.3 中相关要求。则将 29 片判 定为导电类型不符、电阻率不符等,剩下的 171 (200-29 )片连同前面的 335 片( 535-200 )进行外观上的全 检; 编制: 校对: 审核: 标准化: 批准: 发送部门 份 数 第 1 页 共 5 页 文件编号 版 次 硅片检验规程 生效日期 d) 依据 4.3 中相关要求对硅片进行分类。 4.3 技术要求 按照硅片质量不同将产品分为 A、B两个等级。 A级为合格品, B级为可让步使用的产品。其中 A级分为 A1、A2两类, B级分为 B1、B2两类,具体分类、检测方法见表 1。 表 1 太阳能多晶硅片质量等级分类方法 要求 序号 检验项目 A 级片 B 级片 检验方法 检验方式 A1 A2 B1 B2 1 导电类型 P P 用硅片分选设

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