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《MEMS器件、仿真与系统集成》期中测验（三） （占考试成绩的20%，中英文答题均可，5月30日交电子版。任课教师：陈剑鸣） 研究生： 段海军 （签字） 学号： 2010211014 MEMS设计、仿真软件的综合比较。（占本课程的20%）。 具体要求： 1） 用表格形式对 MEMS常用的软件进行比较。比较的软件四大 类：TannerPro （主要是 L-edit）， HFSS, CoventorWare, IntelliSense, ANSYS 2） 比较的内容： ?公司、厂家； ?软件的总体描述； ?软件的模块关系（模块组成）； ?按模块来阐述的主要用途； ?按模块来阐述的性能参数； ?软件所做的实例图（分模块）。 ?你对此软件（或者是具体模块）的看法和评价，不少于 5个模 块。 作业作答如下：由于制作表格不是很方便，每个软件包含的内容非常 多，所以我采用如下形式的方式来分析比较上面五个软件。 一 TannerPro （主要是 L-edit） 1.1公司、厂家： Tanner Research 公司 1.2软件的总体描述 Tanner集成电路设计软件是由 Tanner Research 公司开发的基于 Windows 平台的用于集成电路设计的工具软件。该软件功能十分强大，易学易用，包括 S-Edit，T-Spice，W-Edit，L-Edit与LVS从电路设计、分析模拟到电路布局 一应俱全。其中的L-Edit版图编辑器在国内应用广泛，具有很高知名度。 L-Edit Pro 是Tanner EDA软件公司所出品的一个IC设计和验证的高性能 软件系统模块，具有高效率，交互式等特点，强大而且完善的功能包括从 IC设 计到输出，以及最后的加工服务，完全可以媲美百万美元级的 IC设计软件。 L-Edit Pro包含IC设计编辑器（Layout Editor）、自动布线系统（Standard Cell Place Route）、线上设计规则检查器（ DRC、组件特性提取器（ Device Extractor ）、设计布局与电路 netlist 的比较器（LVS）、CMOS Library、Marco Library，这些模块组成了一个完整的IC设计与验证解决方案。L-Edit Pro 丰 富完善的功能为每个IC设计者和生产商提供了快速、易用、精确的设计系统。 Tanner Tools Pro 是一套集成电路设计软件，包含以下几种工具： S-Edit （ 编辑电路图）。 T-Spice （电路分析与模拟）。 W-Edit （显示T-Spice模拟结果）。 L-Edit （编辑布局图，自动布局布线，DRC电路转化）。 LVS （版图和电路图对比）。 1.3软件的模块关系及其主要用途与实例图 S-Edit模块：可以继续在Core模块中继续寻找更低一级的模块，直至到 MOS 晶体管。 T-Spice模块：是电路仿真与分析的工具，文件内容除了有元件与节点的描 述外，还必须加上其他的设定。有包含文件（include file ）、端点电压源设置、 分析设定、输出设置。 L-Edit模块：是一个布局图的编辑环境功能包括设计导航、分析图层、截 面观察、设计规则检查、转化等。 LVS模块：是用来比较布局图与电路图所描述的电路是否相同的工具， 也就 是说比较S-Edit绘制的电路图与L-Edit绘制的布局图是否一致 隸;岁1 S-Edit模块界面图 - - 图2 S-Edit 实例图 图2 S-Edit 实例图 模拟，若有错误，再回到L-Edit修改布局图。最后利用LVS将电路图输出地SPICE 文件与布局图转化的 SPICE文件进行对比，若对比结果不相等，则回去修改 L-Edit或S-Edit的图；直到验证无误后，将L-Edit设计好的布局图输出成 GDSII 文件类型，再交由工厂去制作半导体过程中需要的光罩 如下是Tanner数字ASIC设计流程图： S Edit电蹈图设T-Spice ■W-Edit S Edit电蹈图设 T-Spice ■ W-Edit显不渡形* L Eciil/SPR^L-Edit/EXTRACT-L-EdiT/rRC* L Eciil/SPR^ L-Edit/EXTRACT- L-EdiT/rRC* 图4 Tanner数字ASIC设计流程图 A 卢 ■ .spc 1.5 L-Edit模块介绍 （1）L-Edit画图布局详细步骤 1） 打开L-Edit程序，保存新文件。 2） 取代设定（File-Rep lace Setup ）。 3） 环境设定（Setup-Design ）。 4） 选取图层。 5） 选择绘图形状绘制布局图。 6） 设计规则设定（MOSIS/OPBIT 2.OU和设计规则检查（DRC。 7） 检查错误，修改（移