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- 2021-12-07 发布于北京
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高真空的获得和测量
19 系04 级 畅 日期2006 年5 月19 日 学号 P
实验目的:
本实验学习用机械泵、扩散泵机组获得高真空,用静态升压法和氦质谱法检漏,并对
比两种 的特点.
实验原理:
一.高真空的测量——电离真空规。
具有足够能量的 与气体分子碰撞会引起分子的电离,产生正离子和 。 与分
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