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真空技术根底 ;参考教材: 1、?真空技术?，戴荣道，电子工业出版社，1986年 2、?真空技术?，王欲知，四川科学技术出版社，1985年 3、?真空技术物理根底?，张树林，东北工学院出版社，1988年;教学目标: 通过本课程的学习，使学生能够掌握真空技术的根本概念和根本知识。对真空的表示、真空的获得、真空的测量、真空的检漏以及对真空系统的组成、设计和计算等技术根底有较为深入的掌握。使学生具有独立分析和解决各种真空技术问题的初步能力，为进入“薄膜与低温等离子体技术与应用〞方向的同学学习后续课程打下根底。为学习其他方向的学生建立扎实的真空物理与技术根底。;课程简介: 真空技术已融入了许多尖端科学技术，并一起得到迅速开展，从超大规模集成电路的制作，到大型加速器的运转；从受控热核聚变到人造卫星、航天器，直至民用装饰品的生产，都与真空技术密切相关。同时，真空技术是薄膜技术的重要根底。 本课程将系统介绍真空技术的根底理论，真空获得设备、真空测量仪表、真空的检漏技术以及真空系统的组成、设计的原理方法。课程将既注重真空技术中的知识体系，又反映真空技术中的最新开展。;主要内容;绪论;地球上，存在着自然状态的真空。包围地球的大气层，受地心引力(空气分子重力)的作用，离地面越高，空气越稀薄。 衡量气体稀密程度的物理量为压力，气体分子处于无规那么热运动之中，与物体碰幢时会产生压力。 气体分子密度越大，气体压力也越大，在海平面上，大气产生的压力为101325Pa，约100kPa，工程中称为一个标准大气压。 而珠峰顶处的气压为32kPa，仅为海平面压力的三分之一左右。;大气压力随着离地面高度的递增而降低，根本按指数规律下降。18km高空，大气压力降到标准大气压的十分之一，96km高空，只有百万分之一。地球大气层以外的宇宙真空，称为“空间真空〞．它是典型的“自然真空〞。 人通过胸腔和腹腔之间的隔膜收缩和放松使肺呼吸，吸气时胸腔压力接近大气压力，呼气时降到半个大气压力以下，即人为的真空状态。进一步，人们运用科技手段，创造了各种真空泵去抽掉密闭容器中的气体，以获得“???为真空〞，逐渐形成了“真空科学与技术〞这个学科。 但是，即使使用现代排气方法获得的最低压力．也只能到达10-12~10-13Pa。还远未到达绝对真空。;1．2 真空度的表征及真空区域的划分;;;;真空区域划分主要依据真空状态下气体分子的物理特性、真空获得设备和真空测量仪表的工作范围等。;;无论那种划分，都无本质区别，就其物理现象来说： 粗真空以气体分子的互相碰撞为主，即气体分子的平均自由程 ?D(容器尺寸)； 低真空那么是气体分子的相互碰撞和气体分子与容器壁的碰撞不相上下，即 ?≈D； 高真空时以分子与器壁碰撞为主，即 ?D； 极高真空时分子与器壁碰撞亦更稀少。; 在气体中，一个分子连续两次碰撞之间的路程称为自由程。自由程与压强成反比，有如下关系； (1—1) 式中压强P的单位用帕，自由程?的单位是厘米。;假设有一个D＝10厘米的器件，其中真空度为6.7×10-4帕，那么? ＝1000厘米，由此可见自由程远大于器件的尺寸。 此时，气体分子主要是以器壁碰撞为主。可以认为，一个气体分子与器壁碰撞假设干次，行走的路程为1000厘米后才与另一气体分子发生碰撞。;1．3 真空技术的历史回忆;历史上有确切记载获得“真空〞的是欧洲人。1643年，意大利人托利拆里做了大气压实验。他用一根一端封闭的细长玻璃管和一个盛水银的小槽，先将水银从玻璃管开口端灌入，直到灌满全管。然后压住开口，将玻璃管倒立在水银槽内，再翻开压着的开口。 此时玻璃管中的水银高度逐渐下降，直到距离小槽液面以上760mm时，就不再下降了。托利拆里认为在玻璃管上端的空隙内就是“真空〞。随后，他的学生帕斯卡等人将此实验搬到山上去做，结果水银柱高度低于760mm，证明大气压与高度有关。;;;1654年德国人葛利克创造了活塞真空泵。他为了证明大气压的巨大力量，曾做过一次公开实验，葛利克用两个直径119cm的半球合起来，用真空泵将球内空气抽除，因而球的表而上所受的大气压力是很大的，每个半球共横向分力，每个半球用8匹马，才能向相反方向拉开。 因为该实验是在德国马德堡做的，故称马德堡半球实验而闻名于世。 ;;我国风箱传到欧洲多年后．马德堡市市长里孔·格里克才利用汲筒进行了著名的马德堡半球实验。不知道这位市长先生是否受到过中国风箱的启发。 但现代欧洲入普遍认为，瓦特创造蒸汽机是受了我国风箱的启发。; 1662年英国人玻义耳发现玻义耳定律。到1738年瑞士人伯努利提出气体分子运动论，他们奠定了真空技术最初的理论根底。 从1643年托里拆利获得真空，