第六章 光学薄膜检测.pptVIP

* * 第六章 光学薄膜检测 光学薄膜设计与应用 Design and application of optical thin films * * 第六章: 光学薄膜检测 第一节 透射、反射、吸收和散射测量 第二节 薄膜光学参数测量 第三节 薄膜力学特性测试 * * 第一节 透射率、反射率测量 光谱仪 测量波段 紫外-可见近红外分光光度计 红外分光光度计 光谱仪 测量原理 单色仪型分光光度计 干涉型光谱仪 * * 双光路分光光度计测量透射率原理图 L－光源，Ｓ－测试样品，Ｍ－调制板，ＭＣ－单色仪，Ｄ－探测器 单色仪型分光光度计 原理：仪器采用双光路测量，其中一束透过测试样品，叫测量光束；另一束不透过测试样品，叫参考光束。一只探测器，交替地对两束光接收并进行比较，获得透射率。再按照单色仪的出射波长进行自动光谱扫描，就可直接记录出透射率随波长变化的光谱透射率曲线。 * * 国际上主要分光光度计的性能参数 型号/厂家 光谱范围/nm 光谱分辨率/nm 光度精度 （可见区） 反射率测试 偏振测试 Lambda900 PE公司 175~3300 0.08 0.00008 可以 可以 U4100 Hitachi公司 175~2600 0.1 0.0003 可以 可以 U-3501 Hi