第四章 典型膜系设计-2.pptVIP

第*页 * 第四章 典型膜系设计 光学薄膜设计与应用 Design and application of optical thin films * 第二节 高反射膜 High reflection (HR) coatings * 2.1 金属反射膜 金属反射膜常用的材料有： 铝（Al)、银（Ag）、金（Au）等 铝（Al): 是唯一一种从紫外到红外波段都具有高反射率的金属材料；在大气中，铝膜表面能生成Al2O3保护层。 解决办法：Al+MgF2（紫外）；Al+SiO（SiO2、Al2O3）（可见红外波段） 银（Ag): 在可见和红外波段都具有高的反射率；倾斜使用 时，引入的偏振效应小。 暴露于空气中极易氧化而失去光泽； 与玻璃、SiO、MgF2等附着力较差。 解决办法：Al2O3+Ag+ Al2O3+SiOx 与基底之间的过渡层 与保护层之间的过渡层 * 金（Au): 在红外波段的反射率很高，常用作红外反射镜； 与玻璃的附着力较差，常用Cr作为过渡层。 解决方法：+Ni (Ni-Cr) Au+(一对TiO2/SiO2)或Bi2O3 与基底之间的过渡层 保护层 * 金属反射膜 Au Ag Al Cu * 金属反射膜的反射率 垂直入射: 倾斜入射: n越小越好，k越大越好 麻烦: cosθ1是