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复习题
一、选择题二、简答题
1、精密和超精密加工现在包括哪些领域。
答:精密和超精密加工目前包含三个领域:
1)超精密切削,如超精密金刚石刀具切削,可加工各种镜面。它成功地解决了高精度陀螺仪,激光反射镜和某 些大型反射镜的加工。
2)精密和超精密磨削研磨。例如解决了大规模集成电路基片的加工和高精度硬磁盘等的加工。
3)精密特种加工。如电子束,离子束加工。使超大规模集成电路线宽达到0.1M m。
2、超精密切削对刀具有哪些要求?为什么单晶金刚石是被公认为理想的、不能代替的超精密切削的刀具材料? 答:为实现超精密切削。刀具应具有如下性能。
1)极高的硬度、极高的耐磨性和极高的弹性模量。以保证刀具
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