椭偏法测量薄膜的厚度和折射率---闫.pptxVIP

椭偏仪测量薄膜厚度和折射率;一、背景介绍 二、实验目的 三、实验仪器 四、实验原理 五、实验内容与步骤 六、思考题与讨论题;一、 背 景 介 绍;4、椭偏法测量的优点：精度高，灵敏度高，无 破坏性等。在光学、半导体学、生物学、医学等诸多领域已得到广泛应用。;思考题与讨论题 写出椭偏方程及各参数的物理意义？ 1/4波片的作用是什么？ 入射光为什么为等幅偏振光，实验中如何获得？ 反射光为什么为线偏振光，实验中如何获得？ 复习思考题： 1）简述椭偏法的测量原理，各主要光学部??的作用是什么？ 2）简述椭偏仪测量薄膜厚度的实验步骤。 ;三、实验仪器 SGC-1型椭圆偏振测厚仪，如图 所示。 ;四、实验原理 使一束自然光经起偏器变成线偏振光，再经1/4波片，使它变成等幅椭圆偏振光，入射到待测的膜面上。反射时光的偏振态将发生变化。对于一定的样品，总可以找到起偏方位角P，使反射光由椭圆偏振光变成线偏振光。于是转动检偏器，在其相应的方位角A下得到消光状态。;现以普通玻璃表面镀以透明单层介质膜为例作一说明。 ; 如图所示，当一束光入射到单层介质膜面上时，在界面1和2上形成多次反射和折射，且各反射光和折射光分别产生多光束干涉。其干涉结果反映了薄膜的光学特性。 根据电磁场的麦克斯韦方程和边界条件及菲涅尔反射系数公式，课本P128： ;式中， 分别为光在薄膜上、下表面的入射角。 ;;为使测量更加简便，在椭偏测量中要求入射光和反射光满足两个条件：;自然光 ;自然光 ;五、实验内容与步骤 首先开启主机电源，点亮氦氖激光器（预热30分钟后再测量为宜）。 2.放入待测样品，选定入射角φ（70°），调节起偏机构悬臂和检偏机构悬臂，使经样品表面反射后的激光束刚好通过检偏器入光口显示窗。 3.调整起偏器和检偏器的角度，直至出现两次消光，测出检偏器后消光时起、检偏器方位角(P1,A1)和(P2,A2)；;4. 将两组（P，A）换算，求平均值； 5. 将（P，A）输入电脑程序界面，求得折射率n和膜厚d . 6. 重复上述测量步骤，测量多个样品的折射率和膜厚，录入表格。;内容总结