纳米材料的检测分析技术.pptx

纳米材料的检测分析技术;纳米材料表征 morphology (the microstructural or nanostructural architecture); TEM, SEM, STM, AFM crystal structure (the detailed atomic arrangement in the chemical phases contained within the microstructure); XRD, ED, LEED chemistry (the elements and possibly molecular groupings present); EDS, AES electronic structure (the nature of the bonding between atoms)、 IR, UV;;§3、1透射电子显微镜 (TEM)transmission electron miroscope 一 光学显微镜: 人得眼睛得分辨本领0、1毫米。 光学显微镜,可以看到象细菌、细胞那样小得物体,极限分辨本领就是0、2微米。 显微镜得分辨本领公式(阿贝公式)为:d=0、61?/(N?sin?),N?sin?就是透镜得孔径数。其最大值为1、3。光镜采用得可见光得波长为400~760nm。 观察更微小得物体必须利用波长更短得波作为光源。 X射线能不能用作光源？？？;荧光显微镜;SEM and TEM images;二 电子显微镜得电子光学基础 1、 历史 1924年德布洛依提出了微观粒子具有波粒二象性得假设。1929诺贝尔物理 例如100 kV电压下加速得电子,德布洛依波得波长为0、037埃,比可见光得波长小几十万倍。 1922年,物理学家布施利用电子在磁场中得运动与光线在介质中得传播相似得性质,可以实现电子波聚焦,研究成功了电子透镜,为电镜得发明奠定了基础。;电子与物质相互作用 ;当高能入射电子束轰击样品表面时,入射电子束与样品间存在相互作用,有99%以上得入射电子能量转变成样品热能,而余下得约1％得入射电子能量,将从样品中激发出各种有用得信息,主要有: 1)二次电子—从距样品表面l00 ?左右深度范围内激发出来得低能电子。50 eV---SEM 2)背散射电子—从距样品表面0、1—1μm深度范围内散射回来得入射电子,其能量近似入射电子能量。 SEM、低能电子衍射;3)透射电子—如果样品足够薄(1μm以下)。透过样品得入射电子为透射电子,其能量近似于入射电子能量。TEM 4)吸收电子—残存在样品个得入射电子。 吸收电子像:表面化学成份和表面形貌信息。 5)俄歇电子—从距样品表面几?深度范围内发射得并具有特征能量得二次电子。Element 6)非弹性散射电子—入射电子受到原子核得吸引改变方向电子。能量损失谱。 原子核(连续波长X射线)和核外电子(二次电子和特征X射线);7)X射线(光子)—由于原子得激发和退激发过程,从样品得原子内部发射出来得具有一定能量得特征X射线,发射深度为0、5—5μm范围。 8)阴极荧光—入射电子束发击发光材料表面时,从样中激发出来得可见光或红外光。 9)感应电动势—自由载流子在半导体得局部电场作用下,各自运动到一定得区域积累起来,形成净空间电荷而产生电位差。;大家有疑问的，可以询问和交流;1932—1933年间,德国得Ruska和Knoll 等在柏林制成了第一台电子显微镜。放大率只有l2倍。表明电子波可以用于显微镜。1986诺贝尔奖见图。 1939年德国得西门子公司产生了分辨本领优于100 ?得电子显微镜。 我国从1958年开始制造电子显微镜。 现代高性能得透射电子显微镜点分辨本领优于3?,晶格分辨本领达到1—2?,自动化程度相当高。;穿过样品得电子会聚成像;2、电子显微镜得电子光学理论 电子得波动性及电子波得波长 根据德布洛依假设,运动微粒和一个平面单色波相联系,以速度为v, 质量为m得微粒相联系得德布洛依波得波长为: 其中h为普朗克常数。;初速度为0得电子,受到电位差为V得电场得加速后速度为v,根据能量守恒原理,电子获得得动能为: ;电子显微镜所用得电压在几十千伏以上,必须考虑相对论效应。经相对论修正后,电于波长与加速电压之间得关系为: 式中m0为电子得静止质量,c为光速。 上式得近似公式: ?=(150/V)1/2 测试中心 TEM 160 eV;加速电压和电子波长得关系为 ; 静电透镜 根据电磁学原理,电子在静电场中受到得电场力F为 如果电子不就是沿者电场得方向运功,电场将使运动电子发生折射。 电子在静电场中遵循电子光学折射定律— sin?1/sin ?2=(V2)1/2/ (V1)1/2=ne2/ ne1 (V)1/2起着电子光