基于FEM-SPH耦合算法的磨粒仿真研究.pdfVIP

题目：基于FEM-SPH耦合算法的磨粒仿真研究 目录 1.仿真目的及意义 2.磨粒加工模型 3.磨粒加工模型简化 4.有限元算例实现基本流程 5.软件操作难点 6.仿真工件-工具参数设置 7.分析与讨论 8.总结与展望 1.仿真目的及意义 ⚫ 目的及意义：通过仿真手段实现对研磨加工硬脆材料如碳化硅衬底中亚表面损伤层 （subsurface damage （SSD），如下图所示）的实时观测与控制并结合研磨实验对加工参数进行 优化，从而减少亚表面损伤层 （主要是裂纹层）的厚度，以提高衬底加工质量衬底加工质量。 碳化硅晶片 碳化硅晶坨、晶圆片 SSC SSD SSS SSL 蓝宝石晶片 蓝宝石晶坨、晶圆片 衬底加工亚表面损伤层 （SSD ）基本划分：裂纹 层 （SSC ）应力层 （SSS）基体层 （SSL） 2021 ANSYS INNOVATION CONFERENCE 3 2.磨粒加工模型 • 研磨加工系统及其示意图 • 研磨加工原理 固结磨磨料研磨加工系统主要由研磨盘、载物盘、研磨液供给系统组成。研磨时，向下压力P使 紧贴上盘面作自转运动的工件与下盘面接触作公转，依靠相对运动实现磨粒对工件的研磨加工。 2021 ANSYS INNOVATION CONFERENCE 4 3.磨粒加工模型简化 （1）研磨过程简化成单颗磨粒对工 件的变切深划擦过程，磨粒设为圆锥 一、图案磨盘到单颗金刚石磨粒 状，工件设为长方体。理由：研磨是 通过磨盘上的微粉金刚石磨粒与工件 之间的相互冲击、划擦等力学物理作 用来去除材料，因此，将研磨盘加工 等效为单颗磨粒加工；在极短时间内 研磨盘的复杂运动可以等效为磨粒的 恒定初始速度；此外根据实际金刚石 二、单颗磨粒变切深刻划模型建立 磨粒压头形状，将磨粒设为圆锥形状， P 工件设为长方体。 （2 ）忽略加工系统的振动及工件材 金刚石磨粒 料的热传导。理由：研磨相对磨削具 备更低的转速，在加工过程中的散热 初始刻划方向