利用劈尖干涉检测部件平整度的研究.docxVIP

用劈尖干预检测零件平整度的研究 李江 （曲靖师范学院物理与电子工程学院云南曲靖655011） 摘要:根据劈尖干预原理，在显微镜下察看干预图样，能够简单的判断某些零件的平整度．若使一块平滑玻璃板和待测零件间形成一个很小的角度，就组成一个楔形空气薄膜，用已知波长的单色光入射后就会产生干预条纹。如果条纹向凑近劈尖的顶角侧弯曲时，说明零件该处是下凹的；若条纹向远离劈尖的顶角侧弯曲时，说明零件在该处是凸起的。这种判断方法简单，易于操作，是工业上常用的一种判断零件平整度的方法。 重点词:劈尖干预；楔形空气薄膜；干预条纹 目录 第一章引言4 第二章实验原理5 第三章实验步骤7 第四章实验误差剖析7 第五章实验总结8 第一章引言 劈尖干预实质上是等厚干预，为了简单判断某些金属零件的平整度，将其作为劈尖的下底面得出干预图样，察看干预图样的凹凸性便可简单的判断零件的平整度。前人在鉴于等厚干预原理的基础上，经过劈尖干预可测出某些透明液体的折射率和薄片的厚度，使折射率在光学领域充满色彩，后人也采用了不同的方法测量了这个光学量，并且测量方法也越来越精准。本实验是经过劈尖干预获得干预图样，间接地检测零件平整度，经过剖析光程差，易适当平面平整时，厚度是平均变化的，则在显微镜获得的干预条纹为平滑的直线。当显微镜中的图像有一下凹，条纹是等厚的点的轨迹，下凹就是厚度增加，于是这里的厚度等于比此处远离劈棱处的地方的厚度，远离劈棱的地方的轨迹偏到这里来；当显微镜中的图像有一凸起，条纹也是等厚的点的轨迹，凸起就是厚度减少，于是这里的厚度等于比此处凑近劈棱处的地方的厚度，凑近劈棱的地方的轨迹偏到这里来。总体情况就是：当有一下凹，则条纹向凑近劈棱方向偏；若有一凸起，则条纹向远离劈棱的方向偏。进而利用劈尖干预原理得出干预图样，对某些零件的平整度进行简单的检测。 第二章实验原理 将两块玻璃板ｎ1和ｎ2叠起来,在一端垫一根细丝(或纸片),两板之间形成一层空气膜,形成空气劈尖。如图2所示，形成与劈尖棱角平行,明暗相间的等厚条 纹.察看劈尖干预的实验装置如图1所示从点光源S发出的光经透镜L变成平行光，在经过半透半反玻璃片M射向空气劈尖，自劈尖上下两表面反射后形成相干光，径路显微镜T,就能在劈尖上表面察看到明暗相间平均散布的干预条纹。 图1 如图2所示，设两玻璃板之间的夹角为,玻璃的折射率为 空气的折射率为1。由于 角很小，在实验中，单色平行光几乎垂直地射向劈面，所以劈尖上下两表面的反射光芒与入射光芒近乎重合。设在P点出，劈尖对应的厚度d，因为 1,所以劈尖表面无半波损失.因此上下两表面反射光的光程差为: 。 图2 反射光是相干光,相干叠加明暗纹的条件是 当 公式1 =2k (k=0,1,2....)时干预相长，得亮纹。 当 公式2 =（2k+1） (k=0,1,2)时干预相消，的暗纹。 每一明条纹或暗条纹都与一定的Ｋ值对应，也就是与劈尖的厚度d相对应。 在两玻璃片相接触处，劈尖的厚度d＝0，由无半波损失的存在，所以在棱边处为 明条纹。任何相邻明条纹或暗条纹所对应的厚度差为： 我们剖析实验采用空气劈尖，n=1。若相邻两条明条纹或暗条纹之间的距离为 则可知：因为角度很小，所以 所以为使实验条纹凹凸显然，使 越小， 就越大，即干预条纹越疏。当平面平整时，厚度平均变化，条纹为直线。当显微镜中的图像有一下凹，条纹是等厚的点的轨迹，下凹就是厚度增加，于是这里的厚度等于比此处远离劈棱处（厚度为o的地方）的地方的厚度，远离劈棱的地方的轨迹偏到这里来，总体情况就是：条纹向劈棱方向偏。若有一凸起，向远离劈棱的方向偏。 第三章实验步骤 将两块玻璃板叠在一同，在一侧放一块薄片，将一束单色光垂直照射到上玻 璃板，在光学显微镜内察看干预条纹。用图甲所示的空气劈尖检查零件表面的平整 度，出现如图乙、丙所示的条纹。用干预法检查平面，如图甲所示，两板之间形成一层空气膜，用单色光从上向下照射，入射光从空气膜的上下表面反射出两列光波，形成干预条纹。如果被检测平面是圆滑的，获得的干预图样必是等距的。如果某处凹下去，则对应明纹（或暗纹）提早出现，如图乙所示；如果某处凸起来，则对应条纹延后出现，如图丙所示。（注“前”与“延后”不是指在时间上，而是指由左向右的地点次序上。） 图3 实验结果表示，条纹向劈尖的顶角侧弯曲时说明零件该处是一个下凹的；条纹远离顶角弯曲时，零件该处是凸起的。 第四章实验误差剖析 两玻璃板之间的角度要控制好，如若过大，将无法察看到实验现象，若过 小，条纹将分辨不出来。其次，要注意劈尖的质量。本实验必须小心实验误差，否 则将察看不到实验现象。 第五章实验总结 在实验中，越来越着重实验的正确性，有些实验仪器必须保持一定的平整 度，精准实验结果。在生活中，工厂生产的产品也着重产品的质量，提升产品的光 洁度，运