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聚焦离子束系统虚拟仿真实验报告
姓名 杨旺 学号 2220190690 专业班级 航海技术四班
ID
mj_2498881
一、实验目的
1.理解聚焦离子束系统的基本结构和工作原理。
2.理解电子束与固体样品作用产生的信号在测试分析中的作用。
3.熟悉扫描电镜的参数设置和操作流程。
4.熟悉离子束刻蚀
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