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第1页，共10页，编辑于2022年，星期二 断棱的原因及采取的措施 断棱的原因： A：极限真空、漏气率达不到要求 B：设备故障 C：缩颈位错排除不干净 D：吃渣 E：操作不当 F：热场梯度不合适 第2页，共10页，编辑于2022年，星期二 极限真空、漏气率达不到要求 原因： 1.存在侥幸心理。 采取措施：严格执行工艺条件 2.密封清理不干净 采取措施：重新清理密封 3.泵油没及时更换；过滤网没有清扫 采取措施：更换泵油 4.其它原因，请维修部检修 第3页，共10页，编辑于2022年，星期二 设备故障 机械故障 液面震动；埚升不合适等。 电器故障 拉速不稳；晶转、埚转不稳；欧陆有自动升降温现象等。 采取措施：找维修人员维修 第4页，共10页，编辑于2022年，星期二 缩颈位错排除不干净 引晶的目的：引入一定向晶核，对于我公司的产品型号是P型，晶向是<100> 缩颈的目的：引出的单晶存在着大量的位错，通过缩细颈可有效地排除位错，保证无位错单晶的生长。 第5页，共10页，编辑于2022年，星期二 如何引晶、缩细颈 引晶 1.保证籽晶无氧化、表面干净 2.熔硅时使籽晶远离高温区，避免籽晶污染和新的位错产生。 3.多晶硅熔完后，籽晶下降到离液面10—20毫米，烘5—10分钟，使籽晶温度接近熔硅温度。 4.调整液面温度，待温度合适时，籽晶点入熔体5毫米左右，停留稳定至少10分钟，让其充分熔接。 第6页，共10页，编辑于2022年，星期二 如何引晶、缩细颈 缩细颈 待温度合适时，逐渐上提拉速引出一段晶体，确认是要求的晶向，并且是单晶开始缩颈。 缩颈的要求： 1.拉速2.5—4.0毫米/分最好 2.细颈的直径2.5—4.5毫米 3.细颈的长度100毫米以上 4.缩颈时位错排除不彻底，放肩时到转肩200毫米时会断棱，因为位错会扩张长大。 5.熔硅温度的起伏和缩颈速率的起伏，均会产生新的位错 第7页，共10页，编辑于2022年，星期二
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