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本实用新型提供一种晶片研磨装置，所述装置包括上研磨盘、下研磨盘、内齿圈、太阳轮、转接轮、游心轮以及至少两个行星轮夹具，所述行星轮夹具及游心轮上均具有晶片安装槽；所述内齿圈位于所述上研磨盘和下研磨盘之间，所述太阳轮与所述内齿圈同轴，各所述行星轮夹具位于所述太阳轮与内齿圈之间，且所述行星轮夹具与所述太阳轮及内齿圈均啮合；所述转接轮位于两个所述行星轮夹具之间，且所述转接轮与位于其两侧的两个行星轮分别啮合；所述游心轮位于所述转接轮与内齿圈之间，且所述游心轮与所述转接轮及内齿圈均啮合。该晶片研磨装置解决了
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 217800996 U
(45)授权公告日 2022.11.15
(21)申请号 202221901249.6 B24B 37/34 (2012.01)
(22)申请日 2022.07.
知识产权出版社有限责任公司（原名专利文献出版社）成立于1980年8月，由国家知识产权局主管、主办。长期以来， 知识产权出版社非常重视专利数据资源的建设工作， 经过多年来的积累，已经收藏了数以亿计的中外专利数据资源。
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