全自动硅片超声清洗机技术说明书.docx

全自动硅料清洗机 技术说明书 - 1.概述 设备概要 A．清洗对象：多晶边皮，顶料，片料，埚底料以及原生多晶料等B．材质 ：Si C．生产力气 ：~240Kg/hr D．节拍 ：~20min/篮(用户自定，可调) E．清洗篮外形有效尺寸 ：L730 * W410 * H200〔mm〕 F．清洗篮装载力气 ： 80Kg / 篮G．清洗介质：碱、酸、水 设备组成 该设备主要由上料台、清洗局部、移载机械手、旋转机构、抽风系统及电控局部组成。 设备走向：方案图按 “左进右出”方式，(客户自选)工件由作业员在左边上料