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本实用新型提供一种扩散炉管抽气管路，包括中间连接部件和若干吸气部件，连接部件为四通结构，吸气部件对应固定在连接部件上下左右的四个端口上，所述吸气部件为L型气管，四个吸气部件的短边弯折方向顺时针排布，上下相对端口上的吸气部件的弯折方向相反，左右相对端口上的吸气部件的弯折方向相反。该抽气管路可直接插在炉尾门上的抽气口上，朝向炉内安装，抽气装置启动后，抽气管路特殊的结构设计可以改变路管内气体的流动情况，克服了原本单口抽气造成的缺陷，使炉管内扩散更均匀，从而改善硅片的方阻均匀性，进一步提高电池整体的光电
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 217997413 U
(45)授权公告日 2022.12.09
(21)申请号 202221753557.9
(22)申请日 2022.07.08
(73)专利权人 江苏润阳世纪光伏科技有限公司
地址
知识产权出版社有限责任公司（原名专利文献出版社）成立于1980年8月，由国家知识产权局主管、主办。长期以来， 知识产权出版社非常重视专利数据资源的建设工作， 经过多年来的积累，已经收藏了数以亿计的中外专利数据资源。
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