一种用于晶圆曝光检测设备的旋转电机.pdfVIP

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2023-02-05 发布于四川
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一种用于晶圆曝光检测设备的旋转电机.pdf

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本实用新型公开了一种用于晶圆曝光检测设备的旋转电机，包括底座，所述底座的顶部固定连接有散热壳，所述散热壳的内腔设置有散热机构，所述散热壳的顶部与右侧均设置有通风机构，所述散热机构右侧的底部设置有气缸，所述气缸的输出端固定连接有连接块，所述底座顶部的右侧设置有限位机构，所述连接块的顶部固定连接有活动架。本实用新型通过启动风扇本体，加快了散热壳内腔的空气流速，再启动气缸，气缸的输出端最终带动风扇本体上下移动，进一步加快了散热壳内腔的空气流速，提高了旋转电机本体的散热效果，该用于晶圆曝光检测设备的旋转

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212364793 U (45)授权公告日 2021.01.15 (21)申请号 202021452162.6 (22)申请日 2020.07.22 (73)专利权人深圳精技工业科技有限公司