一种还原炉用氮化硅的自动清洗机.pdfVIP

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2023-02-14 发布于四川
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一种还原炉用氮化硅的自动清洗机.pdf

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本实用新型公开了一种还原炉用氮化硅的自动清洗机，属于多晶硅生产技术领域，包括上端开口的槽体，槽体上设有进水管、排水管和自动加碱装置，槽体内设有蒸汽盘管和紊流搅拌组件，紊流搅拌组件包括紊流泵、紊流进管和紊流出管，紊流泵与紊流进管和紊流出管相连，紊流出管上设有多个紊流搅拌喷嘴。将氮化硅放入槽体内，随后通过进水管加入清水，随后通过自动加碱装置加入碱片，碱片进入清水中形成碱溶液；氮化硅上的杂质被碱液溶解，蒸汽盘管和紊流搅拌组件的设置使得氮化硅上的杂质除去效果更好；碱液通过排水管排出，随后再通过进水管加入

(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 218460291 U (45)授权公告日 2023.02.10 (21)申请号 202222198269.8 (22)申请日 2022.08.22 (73)专利权人内蒙古通威高纯晶硅有限公司地址