一种微沟槽射流抛光装置.pdfVIP

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2023-02-15 发布于四川
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一种微沟槽射流抛光装置.pdf

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本实用新型公开一种微沟槽射流抛光装置及抛光方法，所述抛光装置包括基座，供液系统，抛光喷嘴和工作台，所述工作台的上表面可拆卸安装一工件固定组件，用于放置待加工的工件，所述工件固定组件对应设置在所述抛光喷嘴的下方；所述工件固定组件包括置物台和固定元件，所述置物台放置设置在所述工作台的上表面，所述置物台的上表面设置有垂直设置的第一凹槽和第二凹槽，其中所述第一凹槽的竖直深度大于所述第二凹槽；所述抛光喷嘴包括毫米级抛光喷嘴和微米级抛光喷嘴，所述固定元件包括盖板和掩膜；当所述抛光喷嘴为微米级抛光喷嘴时，所述

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212553389 U (45)授权公告日 2021.02.19 (21)申请号 202022251569.9 (22)申请日 2020.10.10 (73)专利权人天