一种真空镀膜用在线外观检测装置.pdfVIP

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2023-02-16 发布于四川
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一种真空镀膜用在线外观检测装置.pdf

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本实用新型公开了一种真空镀膜用在线外观检测装置，包括真空检测箱，所述的真空检测箱内设有用于传输被镀膜工件的内传动组件和用于为检测提供光照的线性光源组件，所述的真空检测箱上设有观察窗组件，所述的观察窗组件上方设有工业相机组件，所述的工业相机组件包括工业相机和用于调节工业相机与被镀膜工件检测表面距离的调节件。本实用新型提供的真空镀膜用在线外观检测装置，可根据被镀膜工件的形状特征调节工业相机和被镀膜工件检测表面的距离，适用范围广，实用性强；同时，在镀膜过程中可以实时根据镀膜需求及时调整工业相机与被镀膜

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212610884 U (45)授权公告日 2021.02.26 (21)申请号 202020620547.2 (22)申请日 2020.04.22 (73)专利权人广东生波尔光电技术有限公司