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本实用新型的半自动目检机的晶圆取放机构，其包括晶圆存料匣、取料组件、驱动单元、用于驱动晶圆存料匣上下升降运动的第一升降单元、具有晶圆暂存区的取料接驳平台、以及驱动取料接驳平台上下升降运动的第二升降单元，其中取料接驳平台位于取料组件移动路径上且能够避让取料组件设置，取料手所形成的吸附面与晶圆平行设置且位于层叠晶圆的下方，吸附面随着取料手的运动在存料区和晶圆暂存区之间往复运动。本实用新型通过晶圆暂存区设置，确保取料手在泄压时不会出现掉落的可能，同时也十分方便吸笔的吸取和晶圆在检测时的暂存，此外，晶圆
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 212587466 U
(45)授权公告日 2021.02.23
(21)申请号 202021729410.7
(22)申请日 2020.08.18
(73)专利权人 苏州新尚思自动化设备有限公司
知识产权出版社有限责任公司（原名专利文献出版社）成立于1980年8月，由国家知识产权局主管、主办。长期以来， 知识产权出版社非常重视专利数据资源的建设工作， 经过多年来的积累，已经收藏了数以亿计的中外专利数据资源。
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