现代检测技术导论-物理量检测.pptxVIP

问题： 1、多维力传感器中被测量的个数与检测桥路的数量有何关系？ 2、触觉传感器主要的性能指标应该包括哪几项？;现代检测技术导论 第三章　物理量检测与传感器 3.3 厚膜力敏传感器（高理升） 3.4 磁传感器（林新华） 3.5 光与图像传感器（孔斌） 3.6　热流式传感器 3.7　谐振式传感器;3.6 热流式传感器; 原理：;3.6.2 MEMS热流式传感器;输入-输出曲线;德国S.Billat利用SOI技术 性能： 空气，响应时间300ms; SF6，响应时间600ms 灵敏度:1.6mV/ ?(45mW、SF6气体) 量程：360 ? 分辨率：0.007 ? 功耗：5mW-50mW ;信息产业部十三所 功率为200mW时灵敏度为0.35V/g，量程为75g，抗冲击大于100g。这个传感器中，腐蚀槽的深度为150?m，多晶硅加热电阻长1000?m，宽80?m，厚度2?m，测温电阻长1000?m，宽40?m，厚度2?m ;3.6.3 传感器设计;传热学基础;辐射——斯忒藩-波尔兹曼定律 ?为斯忒藩-波尔兹曼常量，又称黑体辐射常数，值为5.67?10-8W/(m2K4)。 辐射功率： A是表面积，?为表面发射率，T1是物体的温度，T2为环境温度。 ;对流 影响对流的因素 流体流动的起因：比如强迫对流和自然对流 流体有无相变 流体的流动状