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2023-02-25 发布于北京
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本实用新型涉及半导体加工设备技术领域，尤其涉及一种传输系统。本实用新型提供的传输系统，包括存储库、工件台和传输机构，其中，存储库用于存放不同形状及尺寸的工件；工件台能够承载不同形状及尺寸的工件；传输机构包括驱动件和至少两个用于吸取不同形状及尺寸工件的片叉，驱动件能够驱动片叉吸取存储库中的工件，并将工件转移至工件台上。该传输系统，通过使存储库及工件台均能够适应承载不同形状及尺寸的工件，然后利用不同的片叉将存储库内的不同形状及尺寸的工件转移至工件台上，无需更换硬件，即可兼容传输不同形状及尺寸的工件，

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212874467 U (45)授权公告日 2021.04.02 (21)申请号 202022139310.5 (22)申请日 2020.09.25 (73)专利权人上海微电子装备(集团)股份有限