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本实用新型涉及半导体滚磨技术领域，尤其涉及一种立式滚磨设备用硅筒工装。一种立式滚磨设备用硅筒工装，包括底座、连接盘、支撑单元以及至少组固定单元，底座通过连接盘能够可拆卸地设置在立式滚磨设备上；支撑单元能够支撑硅筒的内壁顶端；固定单元以底座的中心为圆心周向等间距的设置在底座上；每组固定单元均包括卡盘爪和抵推块，卡盘爪可沿底座径向移动的连接在底座上，抵推块竖直设置在卡盘爪的外侧壁上，卡盘爪能够带动抵推块靠近或远离底座的中心，使抵推块抵推在硅筒的孔壁以从硅筒的内孔向外施加递推力。该硅筒工装能够安装于立
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 218556662 U
(45)授权公告日 2023.03.03
(21)申请号 202222713012.1
(22)申请日 2022.10.12
(73)专利权人 锦州神工半导体股份有限公司
地址
知识产权出版社有限责任公司（原名专利文献出版社）成立于1980年8月，由国家知识产权局主管、主办。长期以来， 知识产权出版社非常重视专利数据资源的建设工作， 经过多年来的积累，已经收藏了数以亿计的中外专利数据资源。
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