一种带有液冷载台组件的真空涂层机构.pdfVIP

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2023-03-09 发布于四川
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一种带有液冷载台组件的真空涂层机构.pdf

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本实用新型涉及涂层设备技术领域，尤其是指一种带有液冷载台组件的真空涂层机构，其包括真空罩、液冷载台组件、弹性密封件和真空罩底座冷盘，真空罩底座冷盘用于对真空罩降温冷却，液冷载台组件用于承载刀具并调整刀具的位置高度，液冷载台组件和真空罩底座冷盘均为中空结构，弹性密封件的一端与液冷载台组件密封安装，弹性密封件的另一端与真空罩底座冷盘密封安装，真空罩包括真空罩本体、抽气密封法兰、温度检测器以及密封挡门。本实用新型能够有效、快速地对液冷载台和真空罩实现降温，使得液冷载台能够长期处于高温环境下工作，避免液

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213388882 U (45)授权公告日 2021.06.08 (21)申请号 202021871802.7 (22)申请日 2020.08.31 (73)专利权人广东鼎泰机器人科技有限公司