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本实用新型公开的属于硅片加工技术领域,具体为一种便捷安全的硅片取片装置,包括取片头、手持把手与吸附装置,其技术方案是:所述手持把手左侧固定安装有支撑座,所述支撑座两侧设有取片头,所述取片头一侧开设有安装槽,所述安装槽内壁设有吸附装置,所述吸附装置包括底座,所述底座顶部固定安装有顶盖,所述底座外壁固定安装有密封环,所述底座与顶盖内壁开设有通气孔,本实用新型有益效果是:通过通气孔抽走外吸盘与内吸盘的气体,内外压力不同,大气压使硅片被吸附,取片头接触硅片,按压按钮,取片头吸附硅片,手持把守将硅片取出,
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 213519912 U
(45)授权公告日 2021.06.22
(21)申请号 202022861839.8
(22)申请日 2020.12.02
(73)专利权人 江苏龙恒新能源有限公司
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