一种可调节硅片石英舟.pdfVIP

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2023-03-15 发布于北京
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一种可调节硅片石英舟.pdf

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本实用新型涉及一种可调节硅片石英舟，包括底板、侧托板、活动杆、第一分隔条和第二分隔条；所述底板中部设有通槽，底板两侧设有第一转动轴，所述活动杆底端与第一转动轴两端铰接，所述侧托板连接于两个所述活动杆之间，活动杆顶端设有固定块，所述第一分隔条通过第二转动轴与固定块贯穿连接，第二转动轴端部设有第一拧块，所述第二分隔条通过第三转动轴连接于所述通槽上，第三转动轴端部设有第二拧块，所述第一分隔条和第二分隔条上均设有分隔槽。本实用新型可适用于不同规格的硅片，降低生产成本，避免损坏硅片表面，保证后续使用质量。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213583726 U (45)授权公告日 2021.06.29 (21)申请号 202023311796.2 (22)申请日 2020.12.31 (73)专利权人昆山佳鹿石英有限公司