SEM_EDS扫描电镜与能谱仪技术及其应用.pdf

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迁 钢 质 检 站 科 技 论 文 扫描电镜与能谱仪技术及其应用 路琪 徐鑫 张敬蕊 (质量检查站物理实验室) 摘 要 迁钢公司质检站引进了一台扫描电镜及能谱仪,本文重点介绍了扫描电镜与能谱仪的工作原 理与应用,以及对试验样品的要求和身背的安装与验收的程序。 关键词 扫描电镜 能谱 样品 安装 验收 1.引言 迁钢公司质检站于 2009 年引进了一台进口扫描电镜及能谱仪,针对目前扫描电镜及能谱仪新的发展 趋势和检测能力,结合迁钢其他单位需求进行了深入开发及应用。 扫描电镜及能谱仪分析技术是材料检测及研究领域的一种重要的检测分析手段,随着检测技术的不断 发展,越来越成为材料分析研究不可或缺的助手。扫描电镜的特点是可直接对断口形貌进行观察,无需破 坏断口,便于对断裂部位进行最直接的分析,同时配合能谱仪对试样直接进行微区成分分析,对试样可进 行点、线、面的元素分布分析。 2. 扫描电镜的工作原理 扫描电子显微镜(SEM)是利用聚焦电子束在样品上扫描时激发的某些物理信号(如二次电子)来调 制一个同步到秒的显象管(CRT)在相应位置的亮度而成像的一种显微镜。扫描电子显微镜的电子枪发出 的电子束经过栅极静电聚焦后为点光源,然后在加速电压作用下,经2 ~ 3 个磁透镜组成的电子光学系统, 会聚成几纳米的电子束聚焦到样品表面。在末级透镜上有扫描线圈,在它的作用下,电子束在样品表面扫 描。由于高能电子束与试样物质的相互作用,产生各种信号,如二次电子、背散射电子、吸收电子、X 射 线、俄歇电子、阴极发光和透射电子等。这些信号被相应的接收器接收,经过放大器放大后送到显象管的 栅极上,调制显象管的亮度。由于扫描线圈的电流与显象管的相应偏转电流同步,因此试样表面任意点的 发射信号与显象管荧光屏上的亮度一一对应。试样表面由于形貌不同,对应与许多不相同的单元(像元), 他们在电子束轰击后,能发出为数不等的二次电子、背散射电子等信号,依次从各像元检出信号,再一一 送出去。得到所要的信息,就可以合成出放大了的表面形貌的像,工作原理如图2-1 所示。 在扫描电子显微镜中,用来成像的信号主要是二次电子,其次是背散射电子和吸收电子。用于分析成 分的信号主要是X 射线和俄歇电子。二次电子像形成衬度原理源于形貌衬度、原子序数差异衬度和电压造 成的衬度。入射角α越大,二次电子产额越多。二次电子可经过弯曲的路程到达探测器,即背着检测器的 面发出的二次电子也可到达探测器,故二次电子像没有尖锐的阴影,显示较柔和的立体衬度。原子序数差 异在一定程度上也可造成衬度 。当原子序数大于 20 时 ,二次电子产额于原子序数无明显变化,只有轻 元素和较轻元素二次电子产额与组成成分有明显变化。电压对二次电子衬度也有影响。对于导体,正电位 区发射二次电子少,在图象上显得亮,形成衬度,适于集成电路的观察。背散射电子像形成衬度原理主要 第 - 1 - 页 共 10 页 迁 钢 质 检 站 科 技 论 文 源于原子序数和表面的凸凹不平。背散射电子走直线,故它的电子像有明显的阴影,背散射电子像较二次 电子像更富于立体感,但阴影部分的细节由于太暗看不清,对分辨率有点影响。 图相信号 DEF coil 真空泵 图2-1 SEM 的工作原理 2.1 二次电子成像原理及其应用 2.1.1 二次电子成像原理 二次电子信号主要用于分析样品的表面形貌 ,被入射电子束激发出的二次电子数量和原子序数没有 明显关系,但二次电子对微区表面的几何形状非常敏感。图2-2 说明了样品表面和电子束相对位置与二次 电子产额之间的关系。入射束与样品表面法线平行时,即图中的θ=0º,二次电子的产额最少。若样品表 2 面倾

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