连续直拉单晶生长设备.pdfVIP

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2023-03-27 发布于四川
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连续直拉单晶生长设备.pdf

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一种用于连续直拉单晶生长设备，包括有坩埚、进料模块、旋转轴、隔热模块及加热模块，所述旋转轴具有一轴线，所述旋转轴带动所述坩埚以所述轴线为轴心旋转；所述隔热模块包含第一隔热层及第二隔热层，所述第一隔热层在所述轴线方向上具有一第一厚度，所述第二隔热层在所述轴线方向上具有一第二厚度，所述坩埚设置于所述第一隔热层与所述第二隔热层之间，在所述轴线方向上所述第一隔热层至所述第二隔热层间隔一最小距离，所述最小距离与所述第一厚度之距离比为1：0.2至1：0.35之间，所述最小距离与所述第二厚度之距离比为1：0.

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213951412 U (45)授权公告日 2021.08.13 (21)申请号 202022730358.3 (22)申请日 2020.11.23 (30)优先权数据