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2023-03-27 发布于北京
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本实用新型公开了一种硅片清洗周转载具，包括第一侧板以及第二侧板，所述第一侧板与第二侧板之间背侧的顶部以及底部均设有第一侧杆，且所述第一侧杆分别与第一侧板以及第二侧板固定连接，所述第一侧杆的侧面固定设有第一齿板，所述第一齿板设置为多个，且多个所述第一齿板之间呈等距设置，所述第一侧板与第二侧板之间侧面的顶部以及底部均设有第二侧杆。本实用新型通过第一底杆以及第二底杆支撑硅片，每两个第一齿板之间设有一个空隙，每两个第二齿板之间设有一个空隙，硅片的两边分别位于两个位置相对应的空隙中，多个硅片之间通过第一齿

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213958927 U (45)授权公告日 2021.08.13 (21)申请号 202022846433.2 (22)申请日 2020.11.30 (73)专利权人华生管道科技有限公司