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本实用新型公开了半导体生产制造领域内的一种检测齿轮与导轮间距的测量工具，包括间隔套设在转轴上的两个传输齿轮，传输齿轮上放置有料带，料带上沿长度方向等间距设置有若干左右对称的定位孔，传输齿轮的外周上等间距设置有若干定位柱，定位柱的外径与定位孔直径适配，对应定位柱设置有导轮，导轮套设在可移动的导轮轴上，定位柱与导轮留有间距，与间距相对应地设置有测量工具，量测工具包括圆形厚薄规和旋转轴，厚薄规由具有挠性、可弯折的塑料材质制成，厚薄规中间设置有与旋转轴配合的通孔，旋转轴穿设于通孔，旋转轴的上下侧均设置有
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 218723761 U
(45)授权公告日 2023.03.24
(21)申请号 202222965850.8
(22)申请日 2022.11.08
(73)专利权人 江苏汇成光电有限公司
地址 22
知识产权出版社有限责任公司（原名专利文献出版社）成立于1980年8月，由国家知识产权局主管、主办。长期以来， 知识产权出版社非常重视专利数据资源的建设工作， 经过多年来的积累，已经收藏了数以亿计的中外专利数据资源。
版权声明书
用户编号：8063122115000010
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