晶圆表面干燥吹扫设备.pdfVIP

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2023-04-04 发布于北京
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晶圆表面干燥吹扫设备.pdf

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晶圆表面干燥吹扫设备，包括机架、干燥架、氮气供应装置、清洗箱以及夹持块，所述机架内置工作空腔，工作空腔前端设置密封门，所述机架顶端设置驱动电机，所述驱动电机输出端设置旋转杆，所述旋转杆远离驱动电机一端穿过机架侧壁伸入工作空腔内，所述旋转杆远离驱动电机一端设置干燥架，所述干燥架矩形框架，所述干燥架左右两侧内壁设置第一液压杆，干燥架上下两侧侧壁设置第二液压杆，所述第一液压杆以及第二液压杆输出端设置夹持块，所述夹持块远离干燥架侧壁一端设置凹槽，所述工作空腔左侧底端设置氮气供应装置，所述工作空腔位于干燥

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 214099588 U (45)授权公告日 2021.08.31 (21)申请号 202022586331.1 (22)申请日 2020.11.10 (73)专利权人芯米（厦门）半导体设备有限公司