第36节-微机械及其微细加工技术.pptVIP

3.6 微机械及其微细加工技术 欧共体为了加强各国之间的组织和合作，成立了NEXUS（多功能微系统研究合作机构）组织。德国20世纪80年代中期发展的LIGA工艺，研究人员在实验室里制造出了微传感器、微电机、微执行器、微型流量计以及直径为数百微米的金属双联齿轮等微机械零件。 日本制定了纳米制造计划、埃技术计划、微型机器人计划。目前日本共有以企业为中心的60多个微机电系统研究组。成立了微机械中心和微机械学会。 第三十页，共四十八页。 3.6 微机械及其微细技术加工 我国的微系统研究起步并不晚，目前从事微机电系统研究的单位有60多个，主要集中在高校、中科院及信息产业部的研究所。已积累了一些基础技术，取得了一些传感器和微执行器的研究经验和科研成果，多数为实验室产品，商品化工作刚刚起步，离产业化要求相距甚远。 第三十一页，共四十八页。 3.6 微机械及其微细技术加工 二、微机电系统材料 硅材料 微机械加工源自于微电子集成制造，所以在微机电系统材料中，硅是最常用的材料。硅具有良好的机电合一特性。 第三十二页，共四十八页。 3.6 微机械及其微细技术加工 特点： 1、既有足够的机械强度，又有良好的电性能，便于实现机电器件的集成化。 2、硅的加工精度比较高，容易生成绝缘薄膜。 3、硅具有压阻效应、霍尔效应。 4、硅材料密度小，为不锈钢的1/3，而弯曲强度却为不锈钢的3.5倍。 第三十三页，共四十八页。 3.6 微机械及其微细技术加工 压阻效应：电阻阻值变化与应变成正比。 霍尔效应：霍尔效应是磁电效应的一种，将一块半导体或导体材料，沿Z方向加以磁场 ，沿X方向通以工作电流I，则在Y方向产生出电动势V ，如图所示，这现象称为霍尔效应。 V称为霍尔电压。 第三十四页，共四十八页。 一、 引言 随着微／纳米科学与技术 (Micro/Nano Science and Technology)的发展，以本身形状尺寸微小或操作尺度极小为特征的微机械已成为人们在微观领域认识和改造客观世界的一种高新技术。 3.6 微机械及其微细加工技术 第一页，共四十八页。 3.6 微机械及其微细加工技术 微机械是80年代末出现的一门崭新的学科，被誉为21世纪最具代表性的技术之一。 微机电系统与微电子学、信息学、材料科学和纳米技术的发展等密切相关。被公认为21世纪的重点发展学科，是国家重点发展的高技术产业。 微机电系统是微电子技术的延伸和拓宽，通过传感器、致动器、信号处理、控制等多项功能，与外部世界有机联系起来。 第二页，共四十八页。 微机电系统的概念始于20世纪80年代，一般泛指尺度在亚微米至亚毫米范围内的装置。在不同国家和地区有不同的术语和解释： 美国称作 Micro Electro-Mechanical System - MEMS（微型电-机系统） 微型电-机系统是由电子和机械组成的集成化器件或系统，采用与集成电路兼容的大批量处理工艺制造，尺寸在微米到毫米之间。 3.6 微机械及其微细加工技术 第三页，共四十八页。 在欧洲则称作Micro System（微系统） 是指具有微米级结构，可以批量制作的、集微型机构、微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制电路、甚至外围接口、通信电路和电源等于一体的微型器件或系统。 在日本称作Micro Machine（微机器） 微机器由只有几毫米大小的功能元件组成，它能够执行复杂、细微的任务。 3.6 微机械及其微细加工技术 第四页，共四十八页。 3.6 微机械及其微细加工技术 微机电系统是指特征尺寸在微米至毫米范围内，由电子和机械组成的集成化器件或系统。按外形尺寸，微机械可划分为1?10mm的微小型机械,1?m?1mm的微机械，以及1nm?1?m的纳米机械。 第五页，共四十八页。 图1 第六页，共四十八页。 3.6 微机械及其微细加工技术 微机电系统器件不能用总尺寸来定义，而用特征尺寸来表征。 特征尺寸：决定器件性质和加工工艺的关键尺寸。如扩散硅压力传感器的膜厚。 第七页，共四十八页。 由于微机电系统的基于微电子技术的背景（从微机械的加工方法来看，它主要起源于硅集成制造技术），使其具有集成电子器件所具有的微小、可靠、灵敏、低耗、高效、成本低、适于大批量生产等系列优点。 3.6 微机械及其微细加工技术 第八页，共四十八页。 微机械具有以下几个基本特点： 1.体积小(特征尺寸范围为lnm～10mm) ，精度高，重量轻，惯性小。 2.性能稳定，可靠性高。 微机械器件体积极小，封装后几乎可以摆脱热膨胀、噪声和挠曲等因素的影响，具