一种用于消除碳化硅晶体边缘环形形貌的保温装置.pdfVIP

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2023-04-12 发布于北京
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一种用于消除碳化硅晶体边缘环形形貌的保温装置.pdf

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本申请公开了一种用于消除碳化硅晶体边缘环形形貌的保温装置，包括：配套的保温筒和保温盖，保温筒的内部具有空腔，保温筒的顶部具有连通空腔的开口，在装配状态下，保温筒的空腔内放置有坩埚，坩埚的坩埚盖上固定有碳化硅籽晶，保温盖覆盖于所述保温筒顶部的开口；保温盖的底部具有与保温筒同轴的圆形凹槽，圆形凹槽具有凹槽底壁和凹槽侧壁，保温筒的侧壁顶部套接于凹槽侧壁内，并且保温筒的顶部开口与凹槽底壁之间具有间隔，以在坩埚的碳化硅籽晶上方形成直径大于碳化硅籽晶的空气层。上述保温装置，能够在碳化硅籽晶的上方形成直径更大

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 215593248 U (45)授权公告日 2022.01.21 (21)申请号 202121943680.2 (22)申请日 2021.08.18 (73)专利权人山东天岳先进科技股份有限公司