一种探针测试结构.pdfVIP

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2023-04-13 发布于四川
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一种探针测试结构.pdf

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本申请公开了一种探针测试结构，包括载料台、载料驱动结构、第一检测件和检测驱动结构。通过设置载料驱动结构可带动载料台以Z轴为中心轴旋转，并设置检测驱动结构可带动第一检测件沿X轴、Y轴和Z轴中的至少一个方向移动，使载料驱动结构与检测驱动结构两者相互配合，以便灵活高效地调整第一检测件的检测端与待测件准确对位，提高检测效率。另外，设置第一检测件可拆卸地与检测驱动结构连接，可根据检测对象的不同，对第一检测件进行更换，进一步提高本申请的探针测试结构应用于实验室的适用性。设置第一检测件可拆卸，还便于通过调控第

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 215641364 U (45)授权公告日 2022.01.25 (21)申请号 202120923567.1 (22)申请日 2021.04.29 (73)专利权人长江存储科技有限责任公司