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本实用新型涉及一种工件输送系统,所述工件输送系统包括:基座,所述基座包括相对平行设置的、沿竖直方向延伸的两支架;XY平台,所述XY平台包括分别设置于两所述支架的两Y轴直线电机运动机构,连接两所述Y轴直线电机运动机构的X轴直线电机运动机构,以及与所述X轴直线电机运动机构连接的载台,所述载台位于两所述支架之间。载台在X及Y方向上的运动均通过直线电机运动机构来驱动,直线电机能够满足线性运动达到微米级别的需求,从而能够保证载台的运动精度,保证芯片位置调整精度。另外,载台位于两Y轴直线电机运动机构之间,充
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 215665874 U
(45)授权公告日 2022.01.28
(21)申请号 202121551353.2
(22)申请日 2021.07.08
(73)专利权人 苏州华兴源创科技股份有限公司
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