一种光刻机间隙曝光控制装置.pdfVIP

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2023-04-19 发布于四川
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本实用新型提供一种光刻机间隙曝光控制装置，涉及微电子专用设备技术领域，包括工作台，所述工作台上固定连接有固定架，所述固定架顶部固定连接有电动机，所述电动机输出端固定连接有螺纹杆，所述螺纹杆下端转动插接在工作台上，所述螺纹杆上螺纹设置有升降板，所述承载板固定安装在升降板上，所述升降板底部固定安装有物镜，所述升降板上固定安装有润滑瓶。本实用新型中，采用润滑瓶、通孔、海绵，在润滑瓶内部的润滑油对海绵进行润湿，然后润滑油通过通孔，滴落在螺纹杆上，从而能够对该螺纹杆进行润滑，使得升降板在升降的过程中更加的

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 215867503 U (45)授权公告日 2022.02.18 (21)申请号 202122138240.6 (22)申请日 2021.09.06 (73)专利权人安徽睿芯半导体科技有限公司