一种具有圆形光斑的垂直腔面发射激光器.pdfVIP

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2023-04-24 发布于北京
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一种具有圆形光斑的垂直腔面发射激光器.pdf

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本发明公开了一种具有圆形光斑的垂直腔面发射激光器，包括水平谐振腔激光器单元，该水平谐振腔激光器单元在其表面刻蚀有双沟槽结构，双沟槽结构之间形成脊形台，双沟槽结构下方形成平板层；水平谐振腔激光器单元在其激光发射方向的端部倾斜刻蚀有一反射镜单元，该反射镜单元的刻蚀角度θ为45°，刻蚀深度由水平谐振腔激光器单元的表面开始，并至少往下延伸至所述平板层底部；脊形台在靠近反射镜单元的一端设有呈扩张状的喇叭段。本发明的反射镜单元能够将水平边发射光束有效转变为垂直面发射光束，从而有利于实现圆形光斑单模高功率垂直

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 114006261 B (45)授权公告日 2022.03.11 (21)申请号 202210000612.5 H01S 5/183 (2006.01)