一种实现无场翻转的重金属/铁磁/重金属异质结及其制备方法.pdfVIP

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2023-04-25 发布于四川
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一种实现无场翻转的重金属/铁磁/重金属异质结及其制备方法.pdf

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本发明公开了一种实现无场翻转的重金属/铁磁/重金属异质结及其制备方法，包括基片，位于所述基片上的底部重金属层，位于所述底部重金属层上的铁磁层，位于所述铁磁层上的顶部重金属层，所述顶部重金属层为楔形结构；制备方法包括以下步骤：S1：在本底真空及高纯度氩气条件下，以重金属为靶材，采用超高真空磁控溅射技术在基片上沉积重金属得到底部重金属层；以铁磁金属为靶材，采用超高真空磁控溅射技术在所述底部重金属层上沉积铁磁得到铁磁层；以重金属为靶材，采用超高真空磁控溅射技术在所述铁磁层上沉积重金属得到顶部重金属层。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 114032504 B (45)授权公告日 2022.06.14 (21)申请号 202111297781.1 C23C 14/35 (2006.01)