一种在薄膜材料中兼容远红外透明与导电性能的方法.pdfVIP

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2023-04-25 发布于四川
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一种在薄膜材料中兼容远红外透明与导电性能的方法.pdf

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本发明属于功能材料技术领域，具体涉及一种在薄膜材料中兼容远红外透明与导电性能的方法，通过设计光频介电常数大于15的介质薄膜，并引入浓度为25‑35％的阴离子空位以实现远红外透明与导电性能的兼容；具体通过制备菱方相的Bi2Tex材料来获得光频介电常数大于15的介质薄膜，Bi2Tex材料的制备工艺包括如下步骤：将纯Bi2Te3靶安装在磁控射频溅射靶中，采用硅片或硫化锌片作为衬底；抽真空度，通入高纯Ar气；控制纯Bi2Te3靶的溅射功率，在基底上沉积；沉积得到薄膜材料后，采用管式炉退火。本发明方法设计

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114032501 A (43)申请公布日 2022.02.11 (21)申请号 202111284055.6 (22)申请日 2021.11.01 (71)申请人吉林大学地址