tcstm-00003-2019-二维材料厚度测量 原子力显微镜法.pdfVIP

ICS 01.120 A 00 团体 标 准 T/CSTM 00003-2019 用 二维材料厚度测量 原子力显微镜法 使 Thickness measurements of two-dimensional materials Atomic force 布 microscopy (AFM) 公 准 标 M T S C 2019-01-03 发布 2019-02-01 实施 中关村材料试验技术联盟 发布 T/CSTM 00003-2019 目 次 前 言 II 引 言 III 1 范围 1 2 规范性引用文件 1 3 术语和定义 1 4 原理 1 5 仪器设备 2 6 样品前处理 2 用 7 测试方法 2 使 8 厚度计算方法 3 9 测量结果的不确定度评定 3 布 10 测试报告 5 附录A （资料性附录）氧化石墨烯（GO）厚度的测定实例 6 公 附录B （资料性附录）测试报告格式 10 附录C （资料性附录）标准起草单位和主要起草人 11 准 参考文献 12 标 M T S C I T/CSTM 00003-2019 前 言 本标准依据GB/T 1.1－2009 《标准化工作导则第1部分：标准的结构和编写》给出的规则起草。 本标准附录A和B为资料性附录。 本标准由中国材料与试验团体标准委员会基础与共性技术领域委员会（CSTM/FC00）提出。 本标准由中国材料与试验团体标准委员会基础与共性技术领域委员会（CSTM/FC00）归口。 本标准负责起草单位和主要起草人见附录C。 用 使 布 公 准 标 M T S C