一种声表面波谐振器.pdfVIP

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2023-05-05 发布于北京
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一种声表面波谐振器.pdf

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本发明涉及微电子器件技术领域，本发明公开了一种声表面波谐振器。该声表面波谐振器包括由下至上依次层叠的支撑衬底、压电薄膜、叉指换能器和两个反射栅单元；叉指换能器的两侧分别设有一个反射栅单元；叉指换能器包括第一汇流条、第二汇流条和叉指电极单元；叉指电极单元包括第一电极、第二电极和第一阻碍结构；第一电极的第一端与第一汇流条连接；第二电极包括相对的第二端和第一自由端；第二端与第二汇流条连接；第一阻碍结构位于第一自由端与第一汇流条之间的区域。能够实现在抑制杂散模的同时保证主模特性的不变。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114337582 A (43)申请公布日 2022.04.12 (21)申请号 202111465935.3 (22)申请日 2021.12.03 (71)申请人中国科学院上海微系统与信息技术