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公开了一种基板处理装置。该基板处理装置包括:负载锁定室,其内部空间的压力在第一压力和低于第一压力的第二压力之间变化;转位室,其与负载锁定室连接;和测量单元,其测量内部空间中的颗粒水平,并且测量单元位于负载锁定室的外部。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114300380 A
(43)申请公布日 2022.04.08
(21)申请号 202111172031.1
(22)申请日 2021.10.08
(30)优先权数据
10-2020-0
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