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本申请提供一种阵列基板及其制备方法。所述阵列基板包括衬底基板;设置于所述衬底基板上的开关晶体管和感光晶体管;所述开关晶体管包括第一有源层,所述感光晶体管包括第二有源层,所述第一有源层和所述第二有源层同层且间隔设置;其中,所述第一有源层的厚度小于所述第二有源层的厚度。本申请通过将所述第一有源层和所述第二有源层图案化处理,使所述第一有源层的厚度小于所述第二有源层的厚度,从而满足所述阵列基板在所述感光晶体管处高光漏电、及所述开关晶体管处低光漏电的需求。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113097226 A
(43)申请公布日 2021.07.09
(21)申请号 202110297149.0 G02F 1/1368 (2006.01)
(22)申请日
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