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本发明属于无源自供能领域，提供了一种无源自供能用压电纳米线的制备方法及压电纳米线。其中，无源自供能用压电纳米线的制备方法包括在基片上溅射ZnO纳米线生长的种子层；将ZnO纳米线生长溶液与种子层反应，在种子层上生长ZnO纳米线；反应结束后，清洗种子层及ZnO纳米线；采用等离子溅射工艺在ZnO纳米线的上层制备出压电层电极，最终得到无源自供能用压电纳米线。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112786777 A
(43)申请公布日 2021.05.11
(21)申请号 202110004843.9 (51)Int.Cl.
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